無錫埃瑞微半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司是一家專注于集成電路前道工藝量檢測設(shè)備研發(fā)及制造的科技創(chuàng)新型企業(yè)，聚焦于前道Overlay套刻裝備。致力于為光刻工藝的大批量生產(chǎn)提供以套刻誤差為代表的量測設(shè)備及其他缺陷檢測設(shè)備，擁有國內(nèi)頂尖的技術(shù)開發(fā)能力和堅(jiān)實(shí)的設(shè)備量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。

卓源亞洲成立于2016年6月15日，起源于清華大學(xué)FIT樓4-204實(shí)驗(yàn)室。由清華大學(xué)校友共同創(chuàng)辦。卓源亞洲致力于打造中國最領(lǐng)先的人工智能及集成電路投資機(jī)構(gòu)，創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)累計(jì)管理與投資規(guī)模超過30億人民幣。卓源亞洲的使命是在源頭投資具備世界級影響力的偉大人工智能企業(yè)。

卓源亞洲是一家清華系聚焦于集成電路及人工智能領(lǐng)域的投資機(jī)構(gòu)，卓源亞洲及其創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)先后投資了百川智能、中科時(shí)代、小馬智行、江行智能、第四范式、九章云極、基流科技、實(shí)在智能、生數(shù)科技、瑞萊智慧、庭宇科技、睿魔智能、靈汐科技、焱融科技、思謀科技、越疆科技、博瀚智能、拓元智慧、弋途科技、昂視智能、暢行智能、可之AI、瑛菲網(wǎng)絡(luò)、全時(shí)云、賦樂科技、星漢數(shù)智、云丹云碼等AI企業(yè)。

卓源亞洲先后投資了清微智能、輝羲智能、昂納科技、中茵微電子、篆芯半導(dǎo)體、埃瑞微半導(dǎo)體、沐曦集成電路、共績算力、芯德半導(dǎo)體、斑巖光子、芯?？萍?、芯承半導(dǎo)體、蓋澤半導(dǎo)體、首芯半導(dǎo)體、邁睿捷半導(dǎo)體、美浦森半導(dǎo)體、必博半導(dǎo)體、齊芯半導(dǎo)體、艾斯譜光電、芯得銘半導(dǎo)體、芯運(yùn)智能、華美興泰、靈動(dòng)微電子、瑞迪微電子、清醒異構(gòu)、深流微半導(dǎo)體、衍梓裝備、艾博特機(jī)器人、磅旗精工、智毅聚芯、睿魔智能、深藍(lán)航天、靈汐科技、一徑科技、永泰數(shù)能、智佳能自動(dòng)化、中興新材等集成電路企業(yè)。