2024年3月6日獲悉，半導(dǎo)體OverLay前道量測裝備「埃瑞微半導(dǎo)體」（無錫埃瑞微半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司）完成種子+輪融資。金雨茂物領(lǐng)投，源碼資本、卓源亞洲等老股東跟投。

2023年全球/中國大陸量檢測設(shè)備市場空間為105/35億美元。前道量檢測設(shè)備約占前道設(shè)備支出的10%。晶圓廠的資本支出主要包括前道制造設(shè)備、后道封測設(shè)備及廠房建設(shè)，據(jù)中科飛測（2022/03），前道制造設(shè)備支出占比可達80%，質(zhì)量控制設(shè)備約占前道制造設(shè)備支出的10%。根據(jù)VLSI Research、QYResearch，2020-2022年全球半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備市場規(guī)模分別為76.5、105.1、126.3億美元，CAGR為28.49%，2020年中國大陸半導(dǎo)體量檢測設(shè)備市場規(guī)模達21億美元，全球占比27.45%。

卓源亞洲成立于2016年6月15日，起源于清華大學(xué)FIT樓4-204實驗室。由清華大學(xué)校友共同創(chuàng)辦。卓源亞洲致力于打造中國最領(lǐng)先的人工智能及集成電路投資機構(gòu)，創(chuàng)始團隊累計管理與投資規(guī)模超過30億人民幣。卓源亞洲的使命是在源頭投資具備世界級影響力的偉大人工智能企業(yè)。

卓源亞洲是一家清華系聚焦于集成電路及人工智能領(lǐng)域的投資機構(gòu)，卓源亞洲及其創(chuàng)始團隊先后投資了百川智能、中科時代、小馬智行、江行智能、第四范式、九章云極、基流科技、實在智能、生數(shù)科技、瑞萊智慧、庭宇科技、睿魔智能、靈汐科技、焱融科技、思謀科技、越疆科技、博瀚智能、拓元智慧、弋途科技、昂視智能、暢行智能、可之AI、瑛菲網(wǎng)絡(luò)、全時云、賦樂科技、星漢數(shù)智、云丹云碼等AI企業(yè)。

卓源亞洲先后投資了清微智能、輝羲智能、昂納科技、中茵微電子、篆芯半導(dǎo)體、埃瑞微半導(dǎo)體、沐曦集成電路、共績算力、芯德半導(dǎo)體、斑巖光子、芯?？萍?、芯承半導(dǎo)體、蓋澤半導(dǎo)體、首芯半導(dǎo)體、邁睿捷半導(dǎo)體、美浦森半導(dǎo)體、必博半導(dǎo)體、齊芯半導(dǎo)體、艾斯譜光電、芯得銘半導(dǎo)體、芯運智能、華美興泰、靈動微電子、瑞迪微電子、清醒異構(gòu)、深流微半導(dǎo)體、衍梓裝備、艾博特機器人、磅旗精工、智毅聚芯、睿魔智能、深藍(lán)航天、靈汐科技、一徑科技、永泰數(shù)能、智佳能自動化、中興新材等集成電路企業(yè)。